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發(fā)布日期:2025/7/11 15:43:00

高溫燒結 NiO 涂布液是一種以氧化鎳(NiO)前驅體為核心,輔以溶劑、分散劑及功能性添加劑的液態(tài)混合物,可通過涂布工藝(如刮刀涂布、噴墨打印、狹縫涂布等)在基底表面形成薄膜,經300-600℃高溫燒結后轉化為結晶度高、導電性與穩(wěn)定性優(yōu)異的 p 型半導體 NiO 薄膜。其核心功能是通過高溫處理實現前驅體的分解、氧化與晶化,形成具有特定微觀結構(如納米多孔、致密層)的功能性薄膜,滿足光電子器件對界面電荷傳輸、化學穩(wěn)定性及機械強度的需求。

高溫燒結 NiO 涂布液的關鍵特征

1. 組成與形態(tài)

· 核心成分:以鎳基前驅體為主,常見包括硝酸鎳(Ni (NO?)??6H?O)、乙酰丙酮鎳(Ni (acac)?)、硝酸鎳銨(Ni (NH?)?(NO?)?)等,前驅體濃度通常為 0.1-1.0 mol/L,直接影響成膜厚度(一般控制在 10-200 nm)。

· 溶劑體系:需兼顧溶解性與揮發(fā)性,常用乙二醇甲醚、乙醇、去離子水或混合溶劑(如乙二醇甲醚 / 乙醇 = 3:1),通過調節(jié)溶劑沸點(80-150℃)控制涂布后濕膜的流平性,避免針孔或裂紋。

· 添加劑

· 分散劑(如聚乙烯吡咯烷酮 PVP、檸檬酸):抑制前驅體顆粒團聚,提升涂布液穩(wěn)定性(靜置保質期可達 1-3 個月);

· 摻雜劑(如 Li?、Cu2?、Mg2?):通過高溫擴散調節(jié) NiO 的載流子濃度(提升電導率至 10?2-10? S/cm);

· 粘結劑(如聚乙二醇 PEG):增強濕膜與基底的附著力,減少燒結過程中的剝離。

2. 制備與燒結工藝

· 涂布液制備:通過溶膠 - 凝膠法或液相分散法制備,典型流程為:前驅體溶解→添加劑混合→磁力攪拌(200-500 rpm,2-6 小時)→超聲分散(功率 300-500 W,30-60 分鐘)→過濾(0.22 μm 濾膜)去除雜質。

· 高溫燒結機制:涂布后的濕膜經低溫預干燥(60-120℃,10-30 分鐘)去除溶劑后,在空氣或氧氣氛圍中高溫燒結:

· 分解階段(200-300℃):前驅體(如硝酸鎳)分解為 NiO?中間體,釋放 NO?氣體;

· 晶化階段(300-600℃):中間體轉化為立方相 NiO 晶體,晶粒尺寸隨溫度升高而增大(如 300℃時約 5 nm,600℃時可達 20 nm);

· 致密化階段:高溫下晶界融合,孔隙率降低(從 30% 降至 5% 以下),形成連續(xù)薄膜。
燒結時間通常為 30-120 分鐘,升溫速率控制在 5-10℃/min 以避免熱應力導致的膜層開裂。

3. 核心性能參數

· 成膜質量:大面積(如 100 cm2)涂布均勻性(厚度偏差<5%),表面粗糙度(Ra<2 nm),無針孔或劃痕;

· 電學性能:電導率(10??-1 S/cm,取決于摻雜與燒結溫度),空穴遷移率(1-10 cm2/V?s);

· 光學性能:可見光透光率(>80%,針對 30-100 nm 薄膜),禁帶寬度(3.6-4.0 eV,適配鈣鈦礦等光吸收層);

· 穩(wěn)定性:在濕度(RH 60%)與溫度(85℃)環(huán)境下,薄膜電導率保持率>90%(1000 小時),與鈣鈦礦層接觸時無化學互擴散。

高溫燒結 NiO 涂布液通過高溫處理實現了 NiO 薄膜的高結晶度與高穩(wěn)定性,是剛性光電子器件中界面修飾與電荷傳輸層的核心材料,其性能可通過組分設計與工藝優(yōu)化精準調控,為高效、長壽命器件提供關鍵支撐。

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